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作者:点击数:发布时间:2021-10-26
自从Fan-Out封装问世以来,经过多年的技术发展,扇出式封装已经形成了多种封装流程、封装结构以适应不同产品需要,根据工艺流程,可以分为先贴芯片后加工RDL的Chip First工艺和先制作RDL后贴装芯片的Chip Last工艺两大类,其中,结构最简单的是采用Chip First工艺的eWLB,该结构如下图:
其工艺流程如下:
1、将切割好的芯片Pad面向下粘贴在带临时键合胶的载片上;
2、从芯片背面对载片进行灌胶塑封;
3、移除临时载片形成塑封后的二次晶圆(扇出式晶圆);
4、去除Pad上的残留胶并在Pad面形成RDL层;
5、在RDL层上植球并切割成单个成品。
此技术的优势是制程相对简单,成本优势明显。但由于移除载片后,扇出晶圆的翘曲难以控制,对RDL线路的生长技术提出了挑战,难以制作高密度的RDL,因此该技术主要应用于布线密度较低的中低端的产品。
文章源自:芯片封装,贴片电感,贴片电感代理商