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作者:点击数:发布时间:2021-06-19
射频滤波器产业链结构整体非常复杂,所涉及的材料、曝光、光刻、工艺参数等细微变化都会极大影响产品性能。对工业要求比较严,那么国产射频滤波器工艺成熟吗?
现阶段我国射频滤波器生产工艺基础薄弱。国内制造厂家并不完全具备宽槽牺牲层材料平坦化、超薄片减薄抛光、Mo薄膜小角度干法刻蚀、高精度/高取向度和高均匀性压电薄膜制备等多种核心制造技术,难以进行大规模的生产加工,或者产品批次一致性差,需进行大量的研发投入和技术摸索。
文章来自:村田滤波器、村田滤波器代理商。